北京科華KrF深紫外負性光刻膠亮相科技周

  8月20日，2022年全國科技活動周暨北京科技周活動在北京盛大開模，本次科技周活動以“走進科技，你我通行”為主題 展示了“十四五”期間北京領(lǐng)先科技創(chuàng)新成果，特別是“三城一區(qū)”建設(shè)進展以及人工智能芯片、通信、腦科學前沿、雙碳、生物制藥、醫(yī)療器械、元宇宙等領(lǐng)域的關(guān)鍵或核心技術(shù)成果。

   本屆科技周展區(qū)面積約為1.4萬平方米。其中室內(nèi)展區(qū)4000平方米，戶外互動展區(qū)10000平方米，共展了300余個展項。借助VR、三   維視覺等展示技術(shù)，通過創(chuàng)新發(fā)明成果、科普基地活動、冬奧互動體驗等具體內(nèi)容，為觀眾帶來互動性強，體驗性好的科普盛宴。

   在本屆科技周的活動中，北京科華展出了DKN系列KrF深紫外負性光刻膠成果，該項成果由北京市科委，中關(guān)村管委會科技資金支持開發(fā)，可廣泛用于集成電路深溝槽工藝，產(chǎn)品性能達到或超過國外同類產(chǎn)品性能，并且已經(jīng)實現(xiàn)商用。該項成果的成功產(chǎn)業(yè)化，意味著我國KrF深紫外光刻膠技術(shù)水平得到了進一步提升，國產(chǎn)化KrF深紫外光刻膠產(chǎn)品序列更加完善。